ویفروں کے آلودہ ہونے سے بچنے کا بہتر طریقہ: آئی آر لیمپوں کو مناسب طریقے سے استعمال کرنا
بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر تیار کرنے کے عمل میں، لیمپوں کے خراب ہونے سے صرف پریشانی یا تھوڑا وقت کا نقصان ہی نہیں ہوتا، بلکہ یہ ایک بہت بڑا مسئلہ ہے۔
تصور کریں کہ کوارٹز ٹیوب آپ کے ویفروں کے درمیان ہی خراب ہو جاتی ہے… تو آپ صرف ایک خراب بلب ہی نہیں دیکھ رہے ہیں، بلکہ شیشے کے ٹکڑے اور کیمیائی مواد بھی ہیں جو پورے بیچ کو تباہ کر سکتے ہیں۔ یہ بہت بڑا مسئلہ ہے۔ اسی لیے ہم نے اوزون سے پاک آئی آر لیمپ بنائے، تاکہ ایسا ہونے سے پہلے ہی اس خطرے کو دور کیا جا سکے۔
اوزون کا مسئلہ
ستمبرداریوں والے آئی آر لیمپوں کے بارے میں بات یہ ہے کہ یہ 185 نینومیٹر کی لہروں میں تابکاری پیدا کرتے ہیں۔ یہ تو تکنیکی بات ہے، لیکن اس کا مطلب یہ ہے کہ یہ لیمپ اپنے ارد گرد کی ہوا کو اوزون میں تبدیل کر دیتے ہیں۔
کلین روم میں اوزون ایک تیزابی گیس ہے؛ یہ ویفروں پر موجود نامیاتی پرتوں کو تباہ کر دیتی ہے۔ اس مسئلے کو حل کرنے کے لیے ہم خصوصی مواد اور کوارٹز ٹیوبوں کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ ان ویو لینتھوں کو فلٹر کیا جا سکے۔ اس طرح آپ کو تیز رفتار پروسسنگ کے لئے درکار تمام حرارت مل جاتی ہے، لیکن کوئی منفی کیمیائی اثرات نہیں ہوتے۔
خرابیوں سے بچنے کا طریقہ
حرارتی صدمہ یہاں اصل مسئلہ ہے۔ جب لیمپوں کو تیزی سے چالو/بند کیا جاتا ہے، تو کوارٹز ٹیوبیں پھول جاتی ہیں، اور آخر کار ٹوٹ جاتی ہیں۔
ہم اعلیٰ معیار کے کوارٹز ٹیوبوں کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ ان کی مضبوطی بڑھ سکے۔ لیکن ہم یہیں نہیں رکے… ہم نے خصوصی کوٹنگز بھی استعمال کیں، تاکہ اگر لیمپ خراب ہو جائے، تو باہری کوٹنگز ٹوٹے ہوئے ٹکڑوں کو روک سکیں۔ اس طرح آپ کے ویفر صاف رہتے ہیں۔
تضادات (کیوں کہ کچھ بھی بے عیب نہیں ہے)
میں آپ سے ایمانداری سے کہوں گا کہ یہاں کچھ تضادات بھی ہیں۔
اوزون سے پاک کوٹنگز، آئی آر روشنی کو کچھ حد تک روک دیتی ہیں… آپ کو 5-10% کی کمی محسوس ہو سکتی ہے۔ یہ کوئی بڑا مسئلہ نہیں ہے، لیکن آپ کو شاید واٹیج کو بڑھانا پڑے، یا ویفروں کو کچھ دیر زیادہ رکھنا پڑے، تاکہ اس کمی کو پورا کیا جا سکے۔
ایک اور مشورہ: اپنے کولنگ سسٹم پر توجہ دیں… یہ لیمپ حرارت کو اپنے سرے پر مرکوز کرتے ہیں… اگر آپ کا ایئر فلو مناسب نہ ہو، تو آپ کے الیکٹروڈز جلد ہی خراب ہو جائیں گے۔