Khi vận hành phòng sạch loại 100, ngay cả một hạt bụi nhỏ cũng không thể coi là chuyện nhỏ – đó là một thảm họa. Nếu các bộ phận gia nhiệt bắt đầu tạo ra các hạt bụi, toàn bộ sản phẩm được sản xuất ra sẽ bị hư hỏng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không sử dụng gương thủy tinh thông thường hay thạch anh rẻ tiền. Những vật liệu này có xu hướng bị nứt hoặc giải phóng các ion khi bị nóng lên. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng thạch anh nguyên chất để làm bộ phận gia nhiệt. Vật liệu này giữ được tính ổn định, không giải phóng khí, và có thể chịu được những thay đổi nhiệt độ đột ngột mà không bị hư hỏng.
Giữ cho mọi thứ luôn sạch sẽ
Chúng tôi rất chú trọng đến chất lượng của lớp vỏ bọc bằng thạch anh. Bằng cách sử dụng silicat tổng hợp, chúng tôi loại bỏ được những tạp chất gây ra hiện tượng “đục” hoặc tạo ra các hạt bụi khi công suất gia nhiệt tăng lên.
Vì đây là phương pháp gia nhiệt không tiếp xúc, nên bức xạ hồng ngoại chính là yếu tố quan trọng. Nó tác động trực tiếp lên bề mặt wafer. Không cần chạm vào hoặc ma sát, và không có nguy cơ gây ra các khuyết tật cơ học.
Điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác
Đây là một việc cần được cân nhắc kỹ lưỡng. Chúng tôi chọn loại đèn có mật độ nhiệt cao, nhưng vẫn phải cẩn thận với công suất và điện áp. Tại sao ư? Bởi vì nếu dùng quá nhiều công suất vào một ống nhỏ, sẽ tạo ra vùng nóng ở giữa wafer.
Chúng tôi đã điều chỉnh hình dạng của sợi dây tóc trong đèn để tránh tình trạng này. Nhờ đó, nhiệt độ sẽ tăng lên một cách đều đặn. Nếu bạn sử dụng phương pháp CVD hoặc annealing, thì sự ổn định của nhiệt độ là yếu tố quan trọng nhất.
Chi tiết về quy trình lắp đặt
Chúng tôi giao kèm các đèn này với các đầu nối được chế tạo một cách chính xác. Bạn cần đảm bảo rằng kết nối điện được chặt chẽ. Một kết nối lỏng lẻo trong phòng sạch sẽ gây ra nhiều vấn đề – từ việc tạo ra tia lửa cho đến việc tạo ra bụi kim loại.
Một lưu ý nữa: thạch anh nguyên chất khá mong manh so với gương thủy tinh thông thường. Nó thích nhiệt độ cao, nhưng lại rất nhạy cảm với va chạm.
Hãy cẩn thận khi sử dụng chúng. Hãy sử dụng găng tay không chứa bụi và tránh tạo ra bất kỳ tác động đột ngột nào trong quá trình lắp đặt, nếu không bạn sẽ làm vỡ lớp vỏ bọc của đèn.