Giữ cho các tấm wafer MEMS luôn sạch sẽ trong quá trình sấy khô
Khi sấy khô các tấm wafer cảm biến MEMS, nhiệt độ chỉ là yếu tố quan trọng một phần thôi. Điều quan trọng hơn là việc loại bỏ các hạt bụi nhỏ. Nếu bạn làm việc trong phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã hiểu rõ mối nguy hiểm: một hạt bụi nhỏ cũng có thể khiến toàn bộ lô sản phẩm bị hỏng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Chúng hoạt động rất hiệu quả.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Hầu hết các loại thạch anh thông thường đều chứa tạp chất. Khi bị nung nóng, những tạp chất này sẽ tan ra và tạo thành các hạt bụi nhỏ, gây ảnh hưởng xấu đến các cảm biến. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao thay vì thạch anh thông thường. Loại thạch anh này không bị kết tinh hay “rơi vỡ” khi nhiệt độ thay đổi nhanh chóng. Nó vẫn giữ nguyên trạng thái ban đầu.
Cơ chế hoạt động của loại bóng đèn này khá thú vị: bức xạ hồng ngoại chiếu vào lớp chất lỏng trên bề mặt wafer, khiến nó bay hơi ngay lập tức. Vì chúng tôi sử dụng bức xạ sóng ngắn, năng lượng sẽ được truyền trực tiếp vào nước. Bạn không cần phải làm nóng toàn bộ buồng sấy chỉ để sấy khô một tấm wafer.
Loại bỏ các yếu tố gây hư hỏng
Chúng tôi kiểm tra kỹ lưỡng bộ phận của bóng đèn và loại bỏ các chất kết dính cũng như nhựa rẻ tiền. Những chất này gây hại cho các cảm biến vì chúng giải phóng khí độc khi bị nung nóng. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các chi tiết cơ khí có khả năng chịu nhiệt cao mà không bị hư hỏng.
Bề mặt của bóng đèn được đánh bóng đến mức gần như phản chiếu ánh sáng. Điều này giúp loại bỏ mọi khả năng bám dính của các hạt bụi. Một mẹo nhỏ nếu bạn muốn lắp đặt bóng đèn trong mạng lưới có mật độ cao: hãy đảm bảo nguồn điện ổn định. Nếu có sự thay đổi đột ngột về điện áp, sợi dây tóc của bóng đèn sẽ rung động. Nếu điều này xảy ra thường xuyên, bóng đèn sẽ hỏng sớm hơn dự kiến.
Thực tế
Thạch anh có độ tinh khiết cao thì khá giòn. Nó có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ, nhưng lại không thể chịu được va chạm vật lý. Nếu thiết bị của bạn có nhiều rung động cơ học, bạn cần sử dụng các bộ giảm chấn để bảo vệ bóng đèn.
Ngoài ra, hãy chú ý đến hệ thống thoát khí. Do mật độ nhiệt cao, bạn cần loại bỏ hơi ẩm khỏi buồng sấy nhanh chóng. Nếu không, hơi ẩm sẽ tích tụ lại trên các cạnh của tấm wafer.