Hãy ngăn chặn sự nhiễm bẩn của các tấm wafer ngay từ đầu: Một cách tốt hơn để sử dụng các bóng đèn hồng ngoại
Trong môi trường sản xuất semiconductor với khối lượng lớn, việc bóng đèn hỏng không chỉ gây ra những phiền toái nhỏ mà còn dẫn đến tình trạng ngừng hoạt động của dây chuyền sản xuất. Đó thực sự là một thảm họa. Hãy tưởng tượng rằng ống thủy tinh chứa bóng đèn bị hỏng ngay trên các tấm wafer. Bạn không chỉ phải đối mặt với một chiếc bóng đèn hỏng, mà còn phải đối mặt với những mảnh thủy tinh vụn và chất hóa học có thể phá hủy toàn bộ lô sản phẩm. Đó quả là một tình huống tồi tệ. Chính vì vậy, chúng tôi đã tạo ra những bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone để loại bỏ nguy cơ này ngay từ đầu.
Vấn đề liên quan đến ozone
Các bóng đèn hồng ngoại thông thường phát ra bức xạ trong dải bước sóng 185nm. Điều này nghe có vẻ phức tạp, nhưng thực chất nó có nghĩa là chúng biến không khí xung quanh thành ozone. Trong môi trường sạch, ozone là một chất gây ăn mòn; nó có thể phá hủy các lớp hữu cơ trên bề mặt tấm wafer. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các chất phụ gia đặc biệt và ống thủy tinh để lọc bỏ những bước sóng UV này. Bạn vẫn có được lượng nhiệt cần thiết để khử trùng nhanh chóng, nhưng không còn phải đối mặt với những tác động tiêu cực từ chất hóa học nữa.
Ngăn chặn việc hỏng hóc
Nguyên nhân chính dẫn đến sự hỏng hóc là do hiện tượng sốc nhiệt. Khi bóng đèn được bật và tắt liên tục, ống thủy tinh sẽ giãn nở và co lại, cho đến khi cuối cùng nó bị vỡ. Chúng tôi sử dụng ống thủy tinh có độ tinh khiết cao để tăng điểm nóng chảy của chúng, từ đó giúp ống thủy tinh bền hơn. Nhưng chúng tôi không dừng lại ở đó. Chúng tôi còn sử dụng các lớp vỏ bảo vệ và lớp phủ đặc biệt để bảo vệ ống thủy tinh. Nếu sợi dây tóc bên trong bóng đèn bị hỏng hoặc ống thủy tinh bị nứt, lớp vỏ bảo vệ sẽ giúp giữ lại các mảnh vụn, giúp bảo vệ tấm wafer khỏi bị hư hại.
Những hy sinh cần chấp nhận (vì không có gì là hoàn hảo cả)
Tôi phải thành thật với bạn: vẫn còn một chút hy sinh cần chấp nhận. Những lớp phủ không chứa ozone này sẽ che khuất một phần ánh sáng hồng ngoại. Bạn có thể gặp tình trạng nhiệt độ giảm khoảng 5–10%. Điều này không quá nghiêm trọng, nhưng bạn có thể cần tăng công suất bóng đèn hoặc để tấm wafer ở trong môi trường đó lâu hơn một chút để bù đắp lại.
Một mẹo nữa: hãy kiểm tra hệ thống làm mát của bóng đèn. Các bóng đèn này thường tập trung nhiệt ở hai đầu. Nếu luồng khí không được điều chỉnh phù hợp, các điện cực của bóng đèn sẽ bị hỏng nhanh hơn bình thường.