在用化学物质处理晶圆时，如何确保安全？
说实话，将高热量的红外灯放置在易燃的清洁溶剂旁边，无异于自找麻烦。如果在易挥发的环境中使用普通灯泡，那就等于在为火灾埋下隐患。这无疑是个巨大的风险。
因此，我们设计的反射器与灯泡结构能够将热量控制在适当的位置，避免其影响到周围的空气。
防止蒸汽进入
我们的目标很简单：不让化学蒸汽接触到加热的石英管。为此，我们将灯泡包裹在由钢化玻璃或石英制成的密封套中。接着，再用耐热的法兰和垫圈将两端固定住。这样就能形成一道牢固的屏障。如果清洁室出现泄漏，蒸汽也无法进入灯泡内部。这样一来，我们就不用担心灯泡会成为引发火灾的源头了。
控制热量
我们使用高纯度的铝或镀金反射器，将红外能量直接照射到晶圆上。这样就不会有热量浪费，也不会让能量四处散播。由于反射效率很高，所以灯泡的外壳保持较凉的状态。不过，还是需要注意气流情况。如果排气系统无法有效排出热量，那么外壳仍有可能因为过热而损坏密封部件。这一点需要特别留意。
防火花设计
我们在电气设计上非常谨慎。我们使用阻燃电缆和连接器，以杜绝爆炸风险。在连接点处不会产生火花。此外，我们还把电源装置远离加热区域。通过这种方式，就能彻底消除潜在的点火源。
关于安装的提示
这些产品是专为替代现有的固化装置而设计的，因此安装起来相当简单。不过，由于加入了各种防护措施，其体积会比普通灯泡大一些。在下单之前，建议先测量一下机箱的空间，确保有足够的空间来安装它们。