Hören Sie auf, Zeit mit der Erwärmung der Luft zu verschwenden – warum IR-Goldreflektoren die bessere Lösung sind
Falls Sie weiterhin gezwungene Lufterwärmung für den Halbleiterprozess verwenden, verbringen Sie im Grunde die Hälfte Ihrer Zeit damit, den leeren Raum um die Bauteile herum zu erwärmen. Das ist langsam. Man muss warten, bis整个Kammer warm geworden ist, bevor das Werkstück überhaupt etwas spürt.
IR-Lampen ändern das. Anstatt gegen die Luft anzukämpfen, senden sie Energie direkt in das Substrat. Das ist effizient und schnell – außerdem wird dadurch eine Menge Zeit eingespart.
Die Magie der Goldreflektoren
Man fragt sich vielleicht, warum wir uns überhaupt mit goldbeschichteten Reflektoren abmühen. Sicher, Aluminium ist günstiger – doch es saugt die Energie auf. Gold hingegen reflektiert fast jeden einzelnen Photonen zurück zum Zielort. Das bedeutet, dass man nicht einfach nur alles erhitzt – sondern die Wärme genau dort konzentriert, wo sie benötigt wird. So kann man die gewünschten Temperaturen in Sekunden erreichen – nicht in Minuten.
Einige Dinge, auf die man achten muss
Es handelt sich dabei nicht um eine „Wunderlösung“, die bei jeder Anwendung funktioniert. Da die Wärmeintensität sehr hoch ist, muss man vorsichtig sein. Wenn das Bauteil dünn oder empfindlich ist, kann es durch die plötzliche Wärmezufuhr beschädigt werden.
Man kann das System nicht einfach so einstellen und dann ignorieren. Man braucht einen guten PID-Controller, um zu verhindern, dass die Temperatur zu hoch wird. Ich empfehle außerdem die Verwendung von Hochgeschwindigkeits-Thermoelementen. Man muss genau wissen, was auf der Oberfläche gerade passiert.
Warum das sinnvoller ist
Denken Sie an den Aufwand, der mit der Luftzirkulation verbunden ist: Turbulenzen, Lärm sowie die ständige Sorge, dass Schmutzpartikel in einem Reinraum entstehen könnten. IR-Technologie ist das Gegenteil: Es handelt sich dabei um einen kontaktlosen Prozess – und somit um einen sauberen Prozess. Durch das Vermeiden dieser langen Aufwärmphase wird die Bearbeitungszeit pro Wafer erheblich reduziert. Mehr Bauteile können pro Zeiteinheit bearbeitet werden – weniger Wartezeiten.
Falls Sie eine neue Anlage zur Aushärtung oder Trocknung planen, achten Sie auf die Leistungsdichte. Ein System mit Goldreflektoren bringt die nötige Energie genau dorthin, wo sie gebraucht wird. Achten Sie darauf, dass das Gehäuse die Wärmestrukturen bewältigen kann – sonst können die umliegenden Elektronikkomponenten beschädigt werden.