晶圆氧化加热元件

引言 让我们来谈谈用于晶圆氧化炉的工业用红外加热元件吧。 最关键的问题是：普通的家用红外灯真的可以替代进口产品吗？这样做是否不会破坏机器结构或影响生产流程呢？ 简短的答案是：只要设计得当，就可以做到。而事实上，这种替换确实是可行的。 功率与物理参数 这种加热元件的功率非常高——400伏特、2500...