深紫外 DUV 光刻胶烘烤灯

在光刻车间，光刻胶烘烤温度波动0.2°C绝非“小偏差”，而是产量直接流失。软烘烤确定溶剂分布，硬烘烤固定图像。两者都需要热量传递具有重复性，且稳定地应用于每一片晶圆。当烘烤曲线波动时，CD控制失效，残留杂质滞留，显影后出现冲洗残留。 我们的DUV光刻胶烘烤灯依靠近红外加热构建亚毫米均匀度的稳定热场...