نگهداری ویفرهای MEMS در حالت تمیز در طول فرآیند خشک کردن
هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، گرما تنها نیمی از مشکلات است؛ مشکل اصلی، وجود ذرات است. اگر در یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ کار میکنید، میدانید که چقدر خطرناک است: حتی یک تکه کوچک از الیاف فرسوده یا موادی که در اثر گرما آزاد میشوند، میتواند کل محموله را بیارزش کند.
به همین دلیل، از لامپهای اینفرارد با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها عملکرد خوبی دارند.
چرا خلوص کوارتز مهم است؟
اکثر کوارتزهای استاندارد دارای ناخالصیهایی هستند؛ وقتی دما بالا میرود، این ناخالصیها تجزیه شده و ذرات ریزی را در جریان هوا ایجاد میکنند. این وضعیت خوب نیست.
ما از سیلیکا با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده در اثر تغییرات دما تغییر شکل نمیدهد و در جای خود باقی میماند.
نحوه عملکرد این لامپها بسیار جالب است؛ تشعشعات اینفرارد به لایه مایع روی ویفر برخورد کرده و آن را تقریباً بلافاصله تبخیر میکند. از آنجایی که از طیف کوتاهامواج استفاده میکنیم، انرژی مستقیماً به آب منتقل میشود؛ بنابراین نیازی نیست کل اتاق را گرم کنیم تا ویفر خشک شود.
حذف ناخالصیها
ما به دقت ساختار لامپ را بررسی کردیم و از چسبها و رزینهای ارزانقیمت استفاده نکردیم؛ زیرا این مواد میتوانند در دماهای بالا مواد شیمیایی تولید کنند.
در عوض، از سیستمهای مکانیکی و آلیاژهایی استفاده کردیم که بتوانند در برابر گرما مقاومت کنند.
سطح لامپ نیز به خوبی صیقل داده شده است؛ این کار برای زیبایی نیست، بلکه برای جلوگیری از چسبیدن ذرات به سطح لامپ است.
یک نکته مهم این است که برای استفاده از این لامپها در سیستمهای با تراکم بالا، باید منبع تغذیه لامپ پایدار باشد؛ اگر ولتاژ ناپایدار باشد، الیاف لامپ تکان خواهند خورد و در نتیجه لامپ زودتر از حد معمول خراب خواهد شد.
واقعیت
کوارتز با خلوص بالا کمی شکننده است؛ اما میتواند در برابر شوکهای حرارتی مقاومت کند. اما اگر سیستم شما دارای ارتعاشات مکانیکی زیادی باشد، باید از سیستمهایی برای کاهش این ارتعاشات استفاده کنید.
همچنین، باید مراقب خروجی گرمایی لامپ باشید؛ زیرا چون چگالی گرما بسیار بالاست، باید رطوبت را به سرعت از بین ببرید؛ در غیر این صورت، رطوبت دوباره روی لبههای ویفرها تجمع خواهد کرد.