वेफरों के संदूषण को शुरू होने से पहले ही रोकें: आईआर लैंपों को संभालने का बेहतर तरीका
उच्च मात्रा में अर्धचालक उत्पादन होने वाली जगहों पर, लैंपों के खराब होने से न केवल समस्याएँ पैदा होती हैं, बल्कि उत्पादन प्रक्रिया में भी बाधा आती है। कल्पना कीजिए कि क्वार्ट्ज ट्यूब वेफरों के ठीक ऊपर ही खराब हो जाए… ऐसी स्थिति में न केवल लैंप ही खराब होता है, बल्कि काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ भी वेफरों को नष्ट कर देते हैं। इसलिए हमने ओजोन-मुक्त आईआर लैंप विकसित किए, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
ओजोन का मुद्दा
सामान्य शॉर्ट-वेव आईआर लैंप, 185 नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य पर विकिरण उत्पन्न करते हैं। यह तकनीकी जानकारी है… लेकिन इसका अर्थ यह है कि ऐसे लैंप अपने आसपास की हवा को ओजोन में बदल देते हैं। क्लीनरूम में ओजोन एक क्षारक गैस है… यह वेफरों पर मौजूद कार्बनिक परतों को नष्ट कर देता है। इस समस्या को दूर करने हेतु हम विशेष रसायनों एवं क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करते हैं… ताकि वैक्यूम-यूवी तरंगदैर्घ्यों को फिल्टर किया जा सके। इस तरह हमें तेज गर्मी प्राप्त होती है… लेकिन कोई हानिकारक रासायनिक प्रभाव नहीं पड़ता।
चीजों को टूटने से बचाना
थर्मल शॉक ही वास्तविक समस्या है… जब लैंपों को तेजी से चालू/बंद किया जाता है, तो क्वार्ट्ज ट्यूब फैलता एवं सिकुड़ता रहता है… जिससे वह टूट जाता है। हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… ताकि ट्यूब मजबूत रहे। लेकिन हमने यहीं नहीं रुके… हमने सुरक्षात्मक कवर एवं विशेष कोटिंगें भी लगाईं… ताकि अगर ट्यूब टूट जाए, तो बाहरी कवर उसके कणों को रोक सके… इस तरह वेफर साफ ही रहते हैं।
त्याग… क्योंकि कुछ भी परफेक्ट नहीं है
ईमानदारी से कहूँ तो… थोड़ा त्याग तो आवश्यक ही है। ओजोन-मुक्त कोटिंगें आईआर प्रकाश को थोड़ा ही रोक पाती हैं… इससे गर्मी में 5-10% की कमी आ सकती है। यह कोई बड़ी समस्या नहीं है… लेकिन इसकी भरपाई हेतु आपको लैंप की शक्ति बढ़ानी होगी… या वेफरों को थोड़ी देर तक ही रखना होगा।
एक और सलाह: अपने कूलिंग सिस्टम पर ध्यान दें… ऐसे लैंपों से ऊष्मा अंतिम हिस्सों में ही केंद्रित होती है… यदि हवा का प्रवाह ठीक न हो, तो इलेक्ट्रोड जल्दी ही खराब हो जाएंगे।