Menjaga Kebersihan Wafer MEMS Semasa Proses Pengeringan
Ketika mengeringkan wafer sensor MEMS, haba hanyalah sebahagian daripada faktor yang perlu diambil kira. Cabaran sebenar adalah untuk mengelakkan kehadiran zarah-zarah kecil yang boleh merosakkan wafer tersebut. Jika anda bekerja di bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa buruknya situasi ini: sekiranya ada sedikit saja zarah yang terlepas, keseluruhan wafer tersebut akan rosak.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah yang diperbuat daripada kuarsa sintetik berkualiti tinggi. Lampu ini sangat efektif dalam mengeringkan wafer.
Mengapa Kuarsa Penting?
Kebanyakan kuarsa biasa mengandungi kekotoran. Apabila suhu meningkat, kekotoran ini akan terurai dan menghasilkan zarah-zarah kecil yang akan masuk ke dalam aliran udara. Ini tentu bukan perkara yang baik.
Kami menggunakan silika pekat berkualiti tinggi sebagai gantinya. Bahan ini tidak akan berkrystal atau “melepaskan” zarah ketika suhu berubah-ubah. Ia tetap stabil walaupun suhu berubah dengan cepat.
Cara kerja lampu ini sangat menarik. Radiasi inframerah akan memanaskan lapisan cecair pada wafer, sehingga cecair tersebut cepat menguap. Oleh kerana kita menggunakan spektrum gelombang pendek, tenaga akan langsung sampai ke air yang ada pada wafer. Anda tidak perlu memanaskan seluruh bilik untuk mengeringkan wafer tersebut.
Menghilangkan Zarah-Zarah Berbahaya
Kami memeriksa bahagian lampu tersebut dengan teliti, dan membuang bahan perekat serta resin murah yang biasa digunakan. Bahan-bahan ini boleh menyebabkan masalah apabila suhu meningkat, kerana ia akan melepaskan gas kimia yang boleh merosakkan sensor.
Sebaliknya, kami menggunakan penyumbat mekanikal dan aloi yang mampu bertahan dalam suhu tinggi tanpa rosak. Permukaan lampu juga dipolish hingga menjadi sangat licin. Ini dilakukan agar tiada tempat untuk zarah-zarah melekat. Tips penting jika anda ingin menyambungkan lampu ini ke sistem berkepadatan tinggi: pastikan bekalan kuasa stabil. Jika voltan tidak stabil, filamen lampu akan bergetar. Ini akan menyebabkan lampu cepat rosak.
Realiti
Kuarsa berkualiti tinggi memang agak rapuh. Ia mampu bertahan terhadap perubahan suhu yang drastik, tetapi ia tidak boleh menahan tekanan mekanikal. Jika sistem anda mengalami getaran mekanikal yang banyak, anda perlu menggunakan penyerap getaran untuk melindungi lampu tersebut.
Selain itu, pastikan sistem pengudaraan berfungsi dengan baik. Kerana kepadatan haba yang tinggi, anda perlu membuang kelembapan dengan cepat. Jika tidak, kelembapan akan menyebabkan embun terbentuk di permukaan wafer.