
MEMS yongalarını kurutma sırasında temiz tutmak
MEMS sensör yongalarını kuruturken, ısı tek başına yeterli değildir. Asıl mücadele, parçacıklarla yapılan mücadledir. Eğer Class 100 standartlarında bir temiz oda kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar korkutucu olduğunu zaten biliyorsunuzdur: Küçük bir parça bozulmuş filament veya gaz salınımı bile tüm ürünlerin işe yaramaz hale gelmesine neden olabilir.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Bunlar gerçekten işe yarıyor.
Kuvarsın önemi
Çoğu standart kuvarsın içinde safsızlıklar bulunur. Sıcaklık arttığında bu safsızlıklar parçalanır ve mikro parçacıklar havaya karışır. Bu hiç de iyi değildir. Biz yerine yüksek saflıkta füzyonla elde edilmiş silika kullanıyoruz. Bu madde, sıcaklık hızla değiştiklerinde kristalleşmez veya parçalanmaz; sabit kalır.
Çalışma prensibi oldukça ilginçtir. Kızılötesi radyasyon, yonga üzerindeki sıvı tabakasına çarpar ve onu neredeyse anında buharlaştırır. Kısa dalga boyu kullanıldığı için enerji doğrudan suya gider. Böylece tüm odanın ısınmasına gerek kalmaz.
Parçacıkları ortadan kaldırma
Lamba yapısını dikkatlice inceledik ve standart yapıştırıcıları ve ucuz reçineleri kullanmayı bıraktık. Bu tür malzemeler tehlikelidir; yüksek sıcaklıklarda gaz salar ve sensörler üzerinde kimyasal bir tabaka bırakır. Bunun yerine, yüksek sıcaklıklara dayanabilecek mekanik contalar ve alaşımlar kullanıyoruz.
Lambanın yüzeyinin ayna gibi pürüzsüz olduğunu göreceksiniz. Bu sadece görünüş açısından değil; aynı zamanda parçacıkların orada tutunamaması içindir. Yüksek yoğunluklu dizilimlerde kullanırken dikkat etmeniz gereken bir diğer nokta ise güç kaynağının stabil olmasıdır. Eğer voltaj dalgalanmaları olursa, filament titreşir ve bu da lambanın erken yanmasına neden olur.
Gerçekler
Yüksek saflıkta kuvars biraz kırılgandır. Termal şoklara karşı dayanıklıdır, ancak fiziksel darbelere dayanamaz. Eğer sistemde çok fazla mekanik titreşim varsa, her şeyi güvende tutmak için sönümleyici montajlar kullanmanız gerekir. Ayrıca egzoz sisteminize de dikkat edin. Isı yoğunluğu çok yüksek olduğundan, nemin hızla uzaklaştırılması gerekmektedir. Aksi takdirde nem, yongaların kenarlarında birikir.