平版印刷软烘加热元件

在光刻工艺中，合适的烘烤温度并非可选项，而是一个必须严格遵守的界限。必须确保每块晶圆上的溶剂都能被均匀去除，且各个区域的温度都保持一致。如果温度出现几度的偏差，或者某个区域过热，那么晶圆的尺寸控制就会失效。因此，我们设计的加热元件必须始终处于这一温度范围内，日复一日地稳定工作。 从技术角度来看，关...