Vermeidung der Kontamination der Wafers: Warum wir lamellenförmige Lampen mit Goldbeschichtung entwickelt haben
In einer Fabrik für die Herstellung von Halbleitern ist es eine Katastrophe, wenn eine Lampe ausfällt. Es geht dabei nicht nur um die Stillstandzeiten. Wenn ein Quarzrohr platzt, fliegen Glassplitter sowie chemische Stoffe direkt auf die Wafers. Ein einziger solcher Vorfall kann zu einer katastrophalen Kontamination führen.
Genau deshalb haben wir diese lamellenförmigen Lampen mit Goldbeschichtung entwickelt. Wir wollten dieses Risiko vollständig beseitigen.
Das Geheimnis liegt in der doppelten Rohrkonstruktion.
Anstelle eines einzigen Rohres, das die gesamte Hitze aufnehmen muss, verwenden wir zwei Quarzlagen. Dadurch wird die Wärmelast gleichmäßig verteilt. Durch die Aufteilung der Arbeit auf zwei Schichten wird die Außenwand des Rohres nicht übermäßig erhitzt. Dadurch bleibt das Quarzmaterial auch bei hoher Leistungstemperatur stabil. Es entstehen keine Hotspots – nur eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf den Wafers.
Und dann gibt es noch das Gold.
Nein, es dient nicht nur dem Äußeren. Die Goldbeschichtung dient dazu, das Infrarotlicht zurückzuspiegeln. So wird die Energie genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird – anstatt dass sie die Lampenhülle und die Verkabelung schädigt. Da die Wärme von der Lampe selbst abgelenkt wird, bleibt das Rohr kühler als bei herkömmlichen Lampen mit gleicher Leistung.
Erhalt der Sauberkeit der Wafers.
Um zu verhindern, dass Partikel auf die Wafers gelangen, haben wir großen Wert auf die Dichtigkeit der Verschlüsse gelegt. Wir verwenden hochreinen Quarz sowie Endkappen, die bei hohen Temperaturen nicht undicht werden. Falls doch ein Rohr versagt, fungiert die doppelte Rohrkonstruktion als Sicherheitsnetz, um den inneren Druck in Schach zu halten.
Ein Hinweis: Überprüfen Sie Ihre Leistungssteuergeräte. Diese lampenförmigen Geräte haben ihre eigene spezifische Widerstandswerte. Wenn Sie versuchen, alte Geräte durch höhere Spannungen „zu reparieren“, riskieren Sie lediglich einen Ausfall des Geräts. Achten Sie außerdem darauf, dass Ihre Kühlfans in der Lage sind, die reflektierte Wärme zu bewältigen. Wenn Sie das tun, werden diese Lampen lange funktionieren.