와이어의 오염을 사전에 막는 방법: IR 램프를 보다 효과적으로 관리하는 방법
대량 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 엄청난 재앙입니다.
만약 석영관이 와이어 위에서 고장 난다면, 그건 단순히 전구가 깨진 것이 아니라, 유리 조각들과 화학물질들이 웨이퍼 전체를 망가뜨리는 상황입니다. 정말 엉망이죠. 바로 이런 이유로 우리는 오존이 발생하지 않는 IR 램프를 개발했습니다.
오존의 문제점
일반적인 단파장 IR 램프는 185nm 범위의 방사선을 내보냅니다. 이는 기술적인 용어처럼 들릴 수 있지만, 실제로는 주변 공기를 오존으로 변환시키는 것을 의미합니다.
클린룸에서 오존은 부식성 가스입니다. 오존은 웨이퍼의 유기물층을 손상시킵니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 특수한 첨가제와 석영관을 사용하여 진공-자외선 파장을 차단합니다. 그렇게 하면 빠른 경화가 가능하지만, 해로운 화학적 영향은 없습니다.
고장을 방지하는 방법
열충격이야말로 진짜 문제입니다. 램프를 자주 켜고 끄면 석영관이 팽창하고 수축하여 결국 깨지게 됩니다.
우리는 고순도의 융합 석영을 사용하여 석영관의 연화점을 높여서 더욱 튼튼하게 만듭니다. 하지만 그だけ으로는 충분하지 않습니다. 우리는 보호용 커버와 특수 코팅을 추가하여 안전망 역할을 하게 합니다. 내부 필라멘트가 고장 나거나 석영관이 깨져도 외부 커버가 그 파편들을 막아줍니다. 그러면 실리콘이 깨끗하게 유지됩니다.
단점들
솔직히 말해서, 약간의 단점이 있습니다.
오존이 발생하지 않는 코팅 때문에 일부 적외선이 차단됩니다. 그로 인해 열량이 5-10% 줄어들 수 있습니다. 이는 큰 문제는 아니지만, 그래도 와트수를 높이거나 웨이퍼를 조금 더 오래 두어야 할 수도 있습니다.
또 한 가지 팁: 냉각 시스템을 잘 점검해보세요. 이러한 램프는 열이 끝부분에 집중되는 경향이 있습니다. 만약 공기 흐름이 적절하지 않다면, 전극이 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다.