클린룸 벤치 적외선 램프

웨이퍼 작업장에서는 소프트 베이크 온도가 0.2°C만 변해도 크리티컬 치수가 달라지고, 가장자리에서 하드 베이크 온도가 높으면 스컴과 잔여물이 남는다는 것을 잘 알고 있습니다. 이러한 변동성을 제거하기 위해 클린룸 벤치 적외선 램프를 개발했습니다. 핵심 사양 이 장치...