
Kimyasalların Bulunduğu Ortamlarda Waferlerin İşlenmesi Sırasında Güvenliği Koruma
Dürüst olalım: Yüksek sıcaklıklı bir FIR lambasını yanıcı temizlik maddelerinin yanına koymak, felaket getirecek bir davranıştır. Eğer uçucu maddelerin bulunduğu bir ortamda standart bir lamba kullanıyorsanız, aslında temiz oda içinde yangın çıkmasına neden olmuş olursunuz. Bu çok büyük bir risktir.
İşte bu yüzden reflektör ve lamba bileşenlerimizi, ısıyı olması gereken yerde tutacak şekilde tasarlıyoruz; yani etrafındaki havadan uzakta.
Buharların İçeri Girmesini Önleme
Buradaki amaç basit: Kimyasal buharların sıcak kuvars tüpüne temas etmesini engellemek. Bunun için lambayı temperli cam veya kuvars malzemeden yapılmış kapalı bir kılıf içine sarıyoruz. Daha sonra da uçları, ısıya dayanıklı bağlantı parçalarıyla sabitliyoruz. Böylece sağlam bir bariyer oluşuyor. Eğer temizleme odasında sızıntı olursa, buharlar lambanın içine giremez. Lambanın bir ateş kaynağı olarak işlev görmeyeceğini bilmek rahatlatıcıdır.
Isıyı Kontrol Etme
Infraruj enerjisini doğrudan wafer üzerine yönlendirmek için yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplamalı reflektörler kullanıyoruz. Boşa harcanan ısı yoktur; enerji her yere dağılmaz. Yansıma oldukça verimli olduğundan, lambanın dış kısmı daha serin kalır. Ancak hava akışını da kontrol etmek gerekiyor. Eğer egzoz sistemi çevredeki ısıyı uzaklaştıramıyorsa, zamanla lambanın kapatma elemanları hasar görebilir. Bu yüzden bu noktayı mutlaka kontrol etmelisiniz.
Kıvılcım Üretmeyen Kablo Sistemleri
Elektrik konusunda hiç riske girmiyoruz. Patlamaları önlemek için özel olarak tasarlanmış alev geciktirici kablolar ve konektörler kullanıyoruz. Kablo uçlarında kıvılcım oluşmaz. Ayrıca güç kaynağını ısıtma bölgesinden uzakta tutuyoruz. Böylece potansiyel bir ateş kaynağını tehlike alanından tamamen uzaklaştırmış oluyoruz.
Montaj Hakkında Kısa Bilgi
Bu ürünler, mevcut işleme sistemlerinin yerine kolayca takılabilir şekilde tasarlanmıştır. Ancak tüm bu koruyucu sistemler nedeniyle ünite, standart lambalardan biraz daha hacimlidir. Sipariş vermeden önce, şasi boşluklarını ölçün. Ürünleri sorunsuz bir şekilde yerleştirebileceğiniz yeterli alanın olduğundan emin olun.