高能效晶圆加热器

在运营100级洁净室时，哪怕只有一粒灰尘存在，那都不仅仅是麻烦事——那简直就是灾难。如果加热元件开始释放出颗粒物，那么整个生产批次的产品都会报废。 正因如此，我们不会使用普通的玻璃或低质量的石英材料。因为这些材料在高温环境下容易碎裂或释放离子。相反，我们会使用高纯度的熔融石英来制造加热元件。这种材...