반도체 공장용 보온 히터

팹 내에서는 온도의 안정성이 단순히 “유용한 기능”이 아닙니다. 이는 생산 공정상 반드시 충족되어야 하는 요건입니다. 포토레지스트 처리 과정에서 조금이라도 온도가 변동하면 CD 제어에 문제가 생기고, 그로 인해 많은 손실이 발생할 수 있습니다. 구식 히터들은 정확한...