Přestaňte bojovat s čistou místností: Proč je infračervené zahřívání tou správnou volbou pro inteligentní výrobní provozy Pokud plánujete stavbu...

Proč opouštíme konvekční pece ve prospěch zasychání pomocí infračerveného záření Buďme upřímní: tradiční konvekční pece jsou vlastně zbytečné....

Správné řešení problémů s teplem v chytré továrně Pokud budujete továrnu typu Industry 4.0, pravděpodobně jste si uvědomili, že starý způsob ohřevu...

Správné řízení tepla v vaší výrobní lince Při budování výrobní linky připravené pro digitální použití je snadné se zaměřit pouze na software. Ale...

Jak zabránit výbuchům: Infračervené vyhřívání ve vakuumových prostředích Buďme upřímní: umístění infračervených topení do vakuumové komory naplněné...

Udržování waferů v teple: Pravda o topnících zařízeních na infračervené záření Pokud provozujete inteligentní výrobní prostředí, určitě znáte...

Jak udržet věci v bezpečí při výrobě waferů v blízkosti chemikálií Buďme upřímní: umístění vysoce teplé IR lampy vedle hořlavých čisticích prostředků...

Přestaňte zahřívat celý stroj a začněte zahřívat samotný wafer. Při práci s infračerveným zářením při zpracování wafery mají tyto systémy jeden...

Zastavení kontaminace polovodičových destiček: Proč jsme vytvořili lampy s dvojitými trubicemi potaženými zlatem V továrnách na výrobu polovodičů s...

Proč se zaměřujeme na integritu dielektrika V světě polovodičů není nefunkční termočlánek jen porouchanou součástkou – jedná se o zničenou skupinu...

Udržování čistoty válečků s MEMS senzory během sušení Při sušení válečků s MEMS senzory je teplo jen polovinou problému. Skutečný boj probíhá proti...

Ohřev čisté místnosti třídy 100 bez znečištění Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten problém. Stačí jeden malý kousek prachu...

Když provozujete čistou místnost třídy 100, jediný zrnko prachu není jen otravou – je to katastrofa. Pokud začnou vaše topné elementy uvolňovat...

Přestaňte ztrácet čas zahříváním vzduchu: Proč vítězí IR zrcadla vyrobená z zlata Pokud stále používáte výměnu vzduchu při zpracování polovodičů, v...

Přestaňte plýtvat teplem: Proč jsou kryty z křemene opravdu důležité pro vaše výrobní lampy Když provozujete továrnu na polovodiče, poslední věc,...

Přestaňte hádat ohledně teploty: Jak učinit systémy na měření teploty skutečně chytrými Pokud plánujete budovu moderní továrny, pravděpodobně jste si...

Snižování uhlíkové stopy v továrnách na polovodiče: Proč skutečně funguje infračervené zahřívání Buďme upřímní: továrny na polovodiče spotřebovávají...

Přestaňte plýtvat energií: Pravda o zlatě potažených IR lampách Pokud zpracováváte polovodičové destičky, víte, že každý watt má svůj význam. Není...

Proč v výrobě uhlíkových nanotrubiček nahrazujeme rezistorové pece infračervenými lampami Pokud jste někdy trávili čas pěstováním uhlíkových...

Proč zlaté povlaky na reflektorech ve vakuu skutečně hrají důležitou roli Pokud zahříváte křemíkové destičky ve vakuu, pravděpodobně jste si všimli,...

Proč jsou zlatě pokryté reflektory opravdu důležité pro vaše IR zařízení V továrnách na výrobu polovodičů znamená plýtvání energií v podstatě...

Zastavte kontaminaci destiček ještě předtím, než začne: lepší způsob manipulace s infračervenými lampami V provozech s vysokou kapacitou představuje...

Nenechte malou únikovou cestu zničit vaše senzory vodíku Při výrobě senzorů vodíku je klíčové dosáhnout správné teploty. Ale problém spočívá v tom,...

Proč používáme infračervené vysychání pro polovodičové destičky Pokud jde o vysychání a zasychání polovodičových destiček, infračervené záření je...

Správné zvlhčování v moderní továrně Pokud plánujete výstavbu továrny nové generace, pravděpodobně jste si uvědomili, že starý způsob zvlhčování už...

Udržení čisté prostředí třídy 100 opravdu čistým Pokud pracujete v prostředí třídy 100, určitě znáte ten noční můru spojenou s uvolňováním částic....

Přestaňte zahřívat stěny vašeho zařízení – místo toho zahřívejte samotné destičky. Většina běžných topných prvků je docela nepřehledná – vyzařují...

Ohřev pomocí infračervených lamp bez nebezpečí výbuchů Pokud umisťujete infračervené lampy nad nádrže na chemické čištění, pravděpodobně už jste...

Proč právě ty správné infračervené ohřívače udržují vaši slévárnu ziskovou Pokud provozujete linku na balení a testování, víte, o co jde. V konečném...

Úvod Pojďme mluvit upřímně o průmyslových infračervených topných elementech – těch, které se používají v pecích na oxidaci polovodičových desek....

Pojďme mluvit o tom, jak udržet vaši výrobu polovodičů efektivní. Když se snažíte řídit výrobu efektivně, náklady spojené s tepelnými procesy...

V provozu výrobní linky není stabilita teploty jen „výhodou“. Je to základní požadavek. Jakákoli změna teploty během zpracování fotorezistentů – i...

V prostředí lithografie není nízká teplota při zahřívání jen volitelným parametrem – jedná se o striktní požadavek. Je nutné zajistit...

V provozu výroby znamená odchylka teploty o 0,5 °C v procesu vypalování posun kritických rozměrů o nánometry – a to je důvod, proč se vzniká tolik...

V provozu výroby slouží lampa pouze k osvětlení – ve skutečnosti je to nástroj na regulaci teplotního profilu během procesu zpracování fotorezistů. I...

V praxi není termální drift žádnou teorií – jedná se o problém, který je potřeba řešit. Sušení waferů, zpracování fotorezistů, zatvrzování obalových...

V řadě 300 mm je zadržená vlhkost po čištění skrytým problémem, který se projeví až v tu chvíli, kdy už je pozdě. Vlhkost pronikne do vrstev...

V prostředí litografie se rychle naučíte, že i poloviční odchylka teploty během procesu zahřívání může způsobit, že parametry CD nebudou v...

Na výrobní lince nástroj Aixtron MOCVD neodpouští tepelný posun. Pokud topné těleso začne podávat horší výkon, poznáte to okamžitě – uniformita...

Na lithografické lince není bake window pro photoresist vodítkem—je to proces. Odchylka 2 °C při soft bake nebo hard bake naruší kontrolu kritických...

Na ploše s wafery víte, že i změna soft bake o 0,2 °C posune kritické rozměry a hard bake, který je na okraji přehřátý, může zanechat usazeniny a...

Na lithografické podlaze není odchylka 0,2 °C v teplotě pečení rezistu „malá odchylka“. Znamená to ztrátu výtěžnosti. Soft bake nastavuje profil...

Na lithografické hale není odstraňování fotoresistu pasivní zastávkou – jde o tepelný proces, který musí odpracovat svou funkci čistě. Fotoresist...