クラス100のクリーンルームを、汚れることなく加熱する方法
もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、その苦労はよくわかるでしょう。ほんの微小なほこりの粒子や、安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハや医療用ポリマーがダメになってしまいます。本当にイライラします。たった一つの粒子でも製品が不良品になってしまうのですから、「十分にきれいであればよい」というわけにはいきません。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
なぜ石英なのか？
これは、清潔さを保つための「ゴールドスタンダード」と言えます。私たちが使用しているのは、極めて純度の高い融解シリカで、どんなに高温になっても金属イオンやVOCを放出しません。普通のガラスでは、急激な温度変化に耐えられずに割れてしまいます。しかし、この石英なら、高温になっても問題ありません。さらに、放射熱なので、部屋中に強制送風する必要もありません。つまり、本来無菌であるべき部屋内でほこりを舞わせることがないのです。
適切な温度を維持する
誰も、基板が焼けてしまうことは望みません。そのため、デジタル式の赤外線コントローラーを使って、出力を安定させています。小さなスペースに多くのワット数を詰め込むことができるので、スペースを節約できます。ただし、注意点として、1平方ミリメートルあたりに多くの電力を込めれば込めるほど、冷却装置の管理が重要になります。小さなスペースを実現したくても、筐体が過熱してしまっては元も子もありません。
実用的な側面
ランプにも寿命があります。それは避けられない現実です。最悪の場合、ランプを交換するために半天もかけてクリーンルームの密封性を壊すことになります。そうならないように、私たちは迅速かつ簡単に交換できるように設計しました。標準的な接続端子を使えば、簡単に交換できます。コーヒーを飲み終える前に再び作業を開始できます。
ただし、一つだけ大事なルールがあります：ノンワイヤードの手袋を使用してください。
本当にです。たった一つの指紋でも、少しの油分が残ります。ランプが加熱されると、その油分が局所的なホットスポットを作り出します。やがて、その部分が割れてしまい、ランプが予定より早く壊れてしまいます。手袋をしっかり着用すれば、このランプは何千時間も問題なく動き続けます。