時間の無駄遣いをやめよう：なぜIRゴールドリフレクターが優れているのか
もし依然として半導体処理に強制通風を使用しているのであれば、実際には部品の周囲の空間を加熱するのに半分の時間を費やしていることになります。これは非効率的です。ワークピースが温まるまで、チャンバー全体が十分に暖まるのを待たなければなりません。
IRランプはそうした問題を解決します。空気と戦う代わりに、エネルギーを直接基板上に送り込むのです。これにより、迅速に加熱が行え、大幅な時間の節約が可能になります。
ゴールドリフレクターの魔法
なぜわざわざ金でコーティングされたリフレクターを使うのか疑問に思うかもしれません。確かにアルミニウムの方が安価ですが、アルミニウムはエネルギーを吸収しすぎてしまいます。一方、金は異なります。ほぼ全ての光子を元の方向に反射させます。つまり、単に物を加熱するだけでなく、必要な場所にだけ熱を集中させることができるのです。数秒で目標温度に到達できます。数分ではなく、数秒です。
注意すべき点
ただし、これはどんな状況でも効果的な「魔法のボタン」ではありません。熱が非常に強く集中するため、注意が必要です。部品が薄くて敏感な場合、急激な温度変化によって変形してしまう可能性があります。
単に設定して放置するだけでは不十分です。オーバーシュートを防ぐためには、信頼性の高いPIDコントローラーが必要です。また、高速サーミスタを使用することを強くお勧めします。表面で何が起こっているかをリアルタイムで把握する必要があります。
なぜこれが合理的か
空気の流れによる混乱を考えてみてください。乱流や騒音が発生し、クリーンルーム内で汚染物質が舞い上がる心配もあります。一方、IR技術は非接触式で、クリーンです。長い「ウォームアップ」の段階を省略することで、ウェーハ1枚あたりの処理時間を大幅に短縮できます。より多くの部品を迅速に処理でき、待ち時間も減ります。
新しい硬化や乾燥用のラインを設計する際は、パワー密度にも注意してください。ゴールドリフレクターシステムを使えば、適切な場所にエネルギーを供給できます。ただし、筐体がその熱負荷に耐えられるか確認してください。そうでなければ、周囲の電子機器が破損してしまいます。